產(chǎn)品特性
·100mm長(zhǎng)的光柵結(jié)構(gòu)
·應(yīng)用領(lǐng)域包括色散補(bǔ)償和DWDM
·全息法制作，消除了間隙誤差
技術(shù)指標(biāo)
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參 數(shù) |
數(shù) 值 |
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工作波長(zhǎng) |
190-320nm |
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相位掩膜板周期 |
0.6-1.2um |
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模板周期的精度 |
&plu***n;0.3nm(&plu***n;0.1nm可以選擇) |
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模板周期的測(cè)量***度 |
&plu***n;0.02nm |
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基板尺寸 |
15mmx 127mm |
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實(shí)際模板的柵結(jié)構(gòu)尺寸 |
10mmx 100mm |
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殘留啁啾(對(duì)均勻模板) |
≤10pm/cm, 在90nm的中心區(qū)域 |
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啁啾范圍(對(duì)啁啾模板) |
0.03nm/cm-30nm/cm |
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啁啾精度 |
&plu***n;0.005nm/cm-1nm/cm(隨啁啾改變) |
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線性啁啾的非現(xiàn)性 |
0.5%到35%(隨啁啾改變) |
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衍射效率 |
0級(jí)衍射≤5%, &plu***n;1級(jí)衍射≥30% |
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光脈沖損害極限 |
1J/cm2, 50Hz@248nm |
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材料 |
人造石英 |
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基板平面 |
< 2um TIR, 兩邊 |
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驗(yàn)收涂覆 |
可選 |
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楔 |
< 30 arcsec |
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厚度 |
2.3mm&plu***n;0.2mm |