關(guān)鍵詞:銅靶材|銅靶|銅濺射靶材|高純銅靶材|銅靶材價格
啟睿新材料可提供純度99.9%~99.9999%的各種純度及要求的銅靶材,其中氧含量***低可以<1ppm,主要用于顯示屏及觸摸屏配線及其保護(hù)膜,太陽能光吸收層、半導(dǎo)體配線等行業(yè)。除了滿足客戶平面靶(***大G8.5代)的需求,我們還可以生產(chǎn)銅的旋轉(zhuǎn)靶,主要用于觸摸屏行業(yè)。高純銅靶的晶粒很難打碎,我們只有通過超大變形量加工,控制欒晶的生長,以取得細(xì)小均勻的微觀***,從而可確保濺射鍍膜時能獲得較低侵蝕速率,并且降低濺射過程中顆粒的形成敏感度。銅濺射靶中的雜質(zhì)會降低材料的導(dǎo)電率,在半導(dǎo)體膜層生產(chǎn)中雜質(zhì)元素是影響良率的主要因素。以鈦、磷、鈣、鐵、鉻和硒等形式存在的雜質(zhì)尤為關(guān)鍵,而這些金屬在我們的銅靶中含量很少,其雜質(zhì)含量遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于客戶要求標(biāo)準(zhǔn)值。
我們可供應(yīng)實(shí)驗(yàn)室用及工業(yè)用的平面靶、旋轉(zhuǎn)靶等,歡迎聯(lián)系咨詢。
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