SII SFT9300M型X射線熒光鍍層厚度測量儀
精工(SEA1000SII、SEA1000A、SEA1000AII、SEA1200VX、SEA6000VX,均能升級至測定鹵素,膜厚儀SFT110、SFT9300、SFT9500)納米科技有限公司,SFT9300系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。SFT9300M極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1.SFT9300M搭載了75W高性能X射線管。
2.搭載標(biāo)準(zhǔn)的Φ50μm微小準(zhǔn)直管(***小Φ15μm)。
3.容易對微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。SFT9300M搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
4.依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。
5.SFT9300M搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6.搭載了焦點(diǎn)切換功能,能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M(jìn)行測定。
7.SFT9300M利用伺服馬達(dá)***的驅(qū)動平臺。
8.SFT9300M運(yùn)用激光聚焦功能簡單實(shí)現(xiàn)位置的調(diào)整。