SVCOR PVA清洗刷
SVCOR™-PVA brush 專為化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）后晶圓的清洗提供世界***的海綿刷產(chǎn)品
一改以往的淀粉致孔法或氣體起泡法制備PVA海綿的工藝，采用公司獨(dú)有的專利技術(shù)，使PVA微孔材料的性能與結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)質(zhì)的改變，以更好地滿足半導(dǎo)體制程晶圓清洗的要求，提高產(chǎn)品的成品率。
表面均勻微孔結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，使清洗液的滲出更均勻，清洗更***；
粗實(shí)的連體孔支架結(jié)構(gòu)使材料能經(jīng)受不斷反復(fù)的滾動、磨擦而不磨損，有效地提高海綿刷的使用壽命；
更細(xì)微孔徑（20μm）的設(shè)計(jì)能控制來自內(nèi)芯流體的透過速率，并維持一定的壓力差，能防止因流體的倒吸而產(chǎn)生的粘?，F(xiàn)象，保證晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量。
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 表面均勻微孔結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)
- 不需防霉處理，永不變質(zhì)
- 干燥時(shí)收縮率很小,可干法保存
- 可用于1-1000級無塵室
- 使用壽命長
SVCOR™ PVA brush與其它海綿刷的結(jié)構(gòu)比較
SVCOR™-PVA 的凸節(jié)表面結(jié)構(gòu) 淀粉成孔法的凸節(jié)表面結(jié)構(gòu)
SVCOR™-PVA 的截面結(jié)構(gòu) 淀粉成孔法的材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)
| SVCOR™ PVA 清洗刷規(guī)格（單位：mm） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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注：SVCOR™-PVA brush產(chǎn)品的技術(shù)優(yōu)勢還體現(xiàn)在其不需防霉處理，永不變質(zhì)，且因其干燥時(shí)收縮率很小，可干法保存。
SVCOR™-PVA brush適合于AMT Reflexion、 Low K、Ebara F*Rex、DNS和OnTrak等半導(dǎo)體清洗設(shè)備。 （我公司是此產(chǎn)品的區(qū)域代理商 如需購買咨詢或定制PVA清洗刷請致電客戶經(jīng)理：陳建華，聯(lián)系電話：13506134129）