河北宇昊納米材料有限公司簡介

河北宇昊納米材料有限公司成立于2010年，是一家***從事超精密拋光材料的研究開發(fā)、生產(chǎn)銷售的高新公司。

我公司采用臺灣平坦化技術(shù)協(xié)會技術(shù)，擁有強大的研發(fā)團(tuán)隊；同時根據(jù)***新GB 50073-2001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了萬級潔凈廠房設(shè)計和建造；公司擁有管理水平***的生產(chǎn)管理團(tuán)隊和服務(wù)水平***的銷售***團(tuán)隊。

我公司秉承研發(fā)***、生產(chǎn)***、服務(wù)***的企業(yè)宗旨，致力成為國內(nèi)微電子、光電子、藍(lán)寶石行業(yè)的合作伙伴；致力于用新技術(shù)實現(xiàn)對國外同類產(chǎn)品質(zhì)量的超越，為您的企業(yè)提供優(yōu)質(zhì)優(yōu)價的產(chǎn)品，以達(dá)到企業(yè)的共同發(fā)展與共贏。

為了我公司長久的發(fā)展，也為了您有一個穩(wěn)定的供應(yīng)商，我公司已將ISO14001的環(huán)境體系認(rèn)證，ISO9000質(zhì)量管理體系認(rèn)證列入了公司計劃。

我公司的主要產(chǎn)品有：硅材料拋光液系列、藍(lán)寶石拋光液系列、計算機(jī)硬盤基片拋光液、石英玻璃拋光液、微晶玻璃拋光液、硅材料清洗劑、藍(lán)寶石清洗劑等。同時還可以根據(jù)客戶的標(biāo)準(zhǔn)開發(fā)特異型拋光液產(chǎn)品。

我們認(rèn)為優(yōu)良的產(chǎn)品取決于生產(chǎn)管控，為保證產(chǎn)品質(zhì)量，我們建立了嚴(yán)格的質(zhì)量管控體系，從原料采購開始進(jìn)行全程管控，生產(chǎn)過程每道工序互為客戶，不合格品***會流到下工序，從而保證了每批產(chǎn)品的品質(zhì)；同時我們建立了嚴(yán)格的抽檢程序，抽樣方法高于***GB2828抽樣標(biāo)準(zhǔn)，試驗室配備了***的技術(shù)人員和檢驗設(shè)備，嚴(yán)把產(chǎn)品出廠關(guān)。

我們認(rèn)為客戶永遠(yuǎn)是對的，我們的技術(shù)和***人員很高興為您解決產(chǎn)品技術(shù)方面的問題， 感謝您的支持與惠顧！

YH/02型藍(lán)寶石襯底材料拋光液

技術(shù)領(lǐng)域

藍(lán)寶石襯底材料的拋光液。

背景技術(shù)

藍(lán)寶石單晶(Sapphire)，又稱白寶石，分子式為Al2O3，透明，與天然寶石具有相同的光學(xué)特性和力學(xué)性能，有著很好的熱特性，***的電氣特性和介電特性，并且防化學(xué)腐蝕，對紅外線透過率高，有很好的耐磨性,硬度僅次于金剛石，達(dá)莫氏9級，在高溫下仍具有較好的穩(wěn)定性，熔點為2030℃，所以被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國防、科研等領(lǐng)域，越來越多地用作固體激光、紅外窗口、半導(dǎo)體芯片的襯底片、精密耐磨軸承等高技術(shù)領(lǐng)域中零件的制造材料。

作為繼Si、GaAs之后的第三代半導(dǎo)體材料的GaN，其在器件上的應(yīng)用被視為20世紀(jì)90年代后半導(dǎo)體***重大的事件，它使半導(dǎo)體發(fā)光二極管與激光器上了一個新臺階，由于GaN很難制備體材料，必須在其它襯底材料上生長薄膜，作為GaN的襯底材料有多種，包括藍(lán)寶石、碳化硅、硅、氧化鎂、氧化鋅等，其中藍(lán)寶石是***主要的襯底材料，目前已能在藍(lán)寶石上外延出高質(zhì)量的GaN材料，并已研制出GaN基藍(lán)色發(fā)光二極管及激光二極管。

藍(lán)寶石由于其硬度高且脆性大,機(jī)械加工困難。而藍(lán)寶石襯底是目前***為普遍的一種襯底材料，作為襯底材料對晶體表面提出了超光滑的要求。研究表明器件的質(zhì)量很大程度上依賴于襯底的表面加工。尤其對用于GaN生長的藍(lán)寶石襯底片精密加工技術(shù)更加復(fù)雜，是目前***研究的難題。隨著光電技術(shù)的飛速發(fā)展，光電產(chǎn)品對藍(lán)寶石襯底材料需求量的日益增加，為了滿足藍(lán)寶石光學(xué)器件發(fā)展的需求，藍(lán)寶石化學(xué)機(jī)械拋光（Chemical-Mechanical Polishing,簡稱CMP）的機(jī)理及技術(shù)和相關(guān)CMP漿料的選擇成為急待解決的重要問題．

目前國內(nèi)在藍(lán)寶石批量生產(chǎn)的技術(shù)還很不成熟，在生產(chǎn)藍(lán)寶石襯底片的時候產(chǎn)生裂痕和崩邊現(xiàn)象的襯底片占總數(shù)比例比較高，占總數(shù)的5%～8%，在之后的研磨和拋光工序中所能夠達(dá)到的拋光和研磨速率也很低，并且很多經(jīng)過加工之后的藍(lán)寶石片由于表面劃痕較重，有20%左右的寶石片表面有粗深痕跡，需要重新研磨拋光，從而導(dǎo)致返工，而部分經(jīng)過返工的藍(lán)寶石片由于研磨拋光過度，導(dǎo)致厚度過薄而報廢，這樣就大大提高了藍(lán)寶石襯底片加工的成本。

產(chǎn)品內(nèi)容

本產(chǎn)品是解決公知藍(lán)寶石襯底材料拋光液在拋光過程中存在的襯底片表面去除速率低、粗糙度高、易劃傷、易蹋邊等問題，而公開一種化學(xué)作用強、去除速率快、表面粗糙度低、無劃傷，且成本低的藍(lán)寶石襯底材料拋光液。

本產(chǎn)品中各組分的作用分別為：

納米硅溶膠作為拋光液磨料，其粒徑小(20～30nm)、濃度高（>35%）、硬度小（對基片損傷度?。?、分散度好，能夠達(dá)到高速率高平整低損傷拋光、污染小，解決了Al2O3磨料硬度大易劃傷、易沉淀等諸多弊端；

胺堿作為拋光液pH調(diào)節(jié)劑,可起到緩沖劑的作用，又可生成大分子產(chǎn)物且溶于水，使反應(yīng)產(chǎn)物在小的機(jī)械作用下即可脫離加工表面，同時還能起到緩蝕、絡(luò)合等作用，同時具有優(yōu)良去除金屬離子的性能，降低待加工片的表面金屬離子沾污。

表面活性劑可降低表面張力，提高凹凸選擇比，又能起到滲透和潤滑作用，從而有效的提高了交換速率，增強了輸運過程，達(dá)到高平整高光潔表面。

本產(chǎn)品的有益效果和優(yōu)點：

1．選用堿性拋光液，可對設(shè)備無腐蝕，硅溶膠穩(wěn)定性好，解決了酸性拋光液污染重、易凝膠等諸多弊端；利用基片材料的***性，pH值9以上時，易生成可溶性的化合物，從而易脫離表面；

2．選用納米SiO2溶膠作為拋光液磨料，其粒徑小(20-30nm)、濃度高（>35%）、硬度?。▽瑩p傷度小）、分散度好，能夠達(dá)到高速率高平整低損傷拋光、污染小，解決了Al2O3磨料硬度大易劃傷、易沉淀等諸多弊端；

3．選用表面活性劑的應(yīng)用，增加了高低選擇比，大大降低了表面張力、減小了損傷層、提高了基片表面的均一性、使得表面凹凸差大大降低，從而有效的提高了交換速率，增強了輸運過程，達(dá)到高平整高光潔表面；

4．選用有機(jī)堿作為拋光液pH調(diào)節(jié)劑,可起到緩沖劑的作用，又可生成大分子產(chǎn)物且溶于水，使反應(yīng)產(chǎn)物在小的機(jī)械作用下即可脫離加工表面，同時還能起到絡(luò)合及螯合作用。

YH/02型藍(lán)寶石襯底材料拋光液技術(shù)指標(biāo)

表面粗糙度的測定

加工前后原子力顯微鏡（AFM）掃描圖（安捷倫5600ls檢測）

加工前后原子力顯微鏡（AFM）參數(shù)（安捷倫5600ls檢測）