518系列－高精度2D二維測(cè)量系統(tǒng)：
●帶0.1μm /0.4μm分辨力/重復(fù)精度的指示精度可達(dá)（1.1+0.6L/600）μm。
●高精度測(cè)高儀加入了廣泛的測(cè)量功能。
●為了達(dá)到***的精度，使用高精度反射性線性編碼器和高精度導(dǎo)軌。
●測(cè)量可以通過(guò)圖標(biāo)命令來(lái)執(zhí)行，同時(shí)，也支持一鍵操作，保證正面的垂直度為5μm，直線度為4μm。
●使用TFT液晶顯示屏，以達(dá)到***的可視性和可操作性。
●氣體全浮/半浮系統(tǒng)可進(jìn)行空氣浮動(dòng)高度調(diào)整。
●配有基本的統(tǒng)計(jì)功能，另外，RS－232C數(shù)據(jù)輸出可通過(guò)連接計(jì)算機(jī)上的SPC軟件，進(jìn)行外 部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估（可選）。
●精密黑色花崗巖平臺(tái)。
●數(shù)據(jù)備份/***，測(cè)量工件程序可通過(guò)USB存儲(chǔ)設(shè)備來(lái)執(zhí)行（FAT16/32兼容格式）。