晶振片的電極對(duì)膜厚監(jiān)控至關(guān)重要,目前,市場(chǎng)上提供三種標(biāo)準(zhǔn)電極材料:金、銀和合金。 金是***廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學(xué)溫定性,易于沉積。金***適合于低應(yīng)力材料,如金,銀,銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品,即使頻率飄移1MHz,也沒(méi)有負(fù)作用。然而,金電極不易彎曲,會(huì)將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會(huì)使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。