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產(chǎn)品名稱
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規(guī)格（V/V）
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執(zhí)行標準
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雜質(zhì)含量
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*** 氣 Ar
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≥99.99%
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GB/T4842--1995
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O2≤10、H2O≤15 、H2≤5、總碳≤20 、N2≤50
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*** 氣 Ne
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99.99%
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國 外 標 準
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O2≤1.0、H2O≤3.0、H2≤1.0、總碳≤2.0、N2≤2.5、He≤40
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99.999%
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國 外 標 準
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O2≤1.0、H2O≤2.6、H2≤0.5、總碳≤1.5、N2≤2.0、He≤5
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*** 氣 Kr
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99.99%
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GB/T5829-1995
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O2≤5、H2O≤3.0、H2≤2.0、總碳≤3.0、N2≤20.0、Xe≤50
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99.995%
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GB/T5829-1995
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O2≤5、H2O≤3.0、H2≤1.0、總碳≤2.0、N2≤10.0、Xe≤30
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99.999%
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GB/T5829-1995
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O2≤2、H2O≤2.6、H2≤0.5、總碳≤1.0、N2≤3.0、Xe≤4
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氙 氣 Xe
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99.99%
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GB/T5829-1995
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O2≤5、H2O≤3.0、H2≤2.0、總碳≤3.0、N2≤20.0、Kr≤50
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99.995%
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GB/T5829-1995
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O2≤4、H2O≤3.0、H2≤1.0、總碳≤2.0、N2≤10.0、Kr≤30
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99.999%
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GB/T5829-1995
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O2≤2、H2O≤2.6、H2≤0.5、總碳≤1.0、N2≤3.0、Kr≤4
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