藍(lán)寶石的組成為氧化鋁(Al2O3),是由三個(gè)氧原子和兩個(gè)鋁原子以共價(jià)鍵型式結(jié)合而成,其晶體結(jié)構(gòu)為六方晶格結(jié)構(gòu)。目前超高亮度白/藍(lán)光LED的品質(zhì)取決于氮化***磊晶(GaN)的材料品質(zhì),而氮化***磊晶品質(zhì)則與所使用的藍(lán)寶石基板表面加工品質(zhì)息息相關(guān),藍(lán)寶石(單晶Al2O3 )C面與Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小,同時(shí)符合GaN 磊晶制程中耐高溫的要求,使得藍(lán)寶石晶片成為制作白/藍(lán)/綠光LED的關(guān)鍵材料。
藍(lán)寶石襯底規(guī)格書
Purity: 99.99%—99.998%
Growth: Kyropolos / HEM
Orientation: C-Plane(0001)/A-Plane(11-20)/R-Plane(1-102)/M-Plane(10-10)N-Plane(11-23)
Off cut: C off A 0-4deg / C off M 0-4deg
Diameter: 2inch / 3inch / 4inch / 6inch / 8inch
Thickness: 430 / 500 / 650 / 1000 / 1500 um
Surface Finish: Epi-Polished / Optical Polished / Fine-Ground ; SSP / DSP
Roughness: Ra<0.3nm / Ra<1.0nm / Ra<1.0um
Package: Class 100 clean room and vacuum nitrogen , 1or25pcs in each cassette