光清洗技術(shù)是利用有機(jī)化合物的光敏氧化作用達(dá)到去除黏附在材料表面上的有機(jī)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)光清洗后的材料表面可以達(dá)到"原子清潔度"。更詳盡的講：UV光源發(fā)射波長(zhǎng)為185nm和254nm的光波，具有很高的能量,當(dāng)這些光子作用到被清洗物體表面時(shí),由于大多數(shù)碳?xì)浠衔飳?duì)185nm波長(zhǎng)的紫外光具有較強(qiáng)的吸收能力, 并在吸收185nm波長(zhǎng)的紫外光的能量后分解成離子、游離態(tài)原子、受激分子和中子，這就是所謂光敏作用?？諝庵械难鯕夥肿釉谖樟?85nm波長(zhǎng)的紫外光后也會(huì)產(chǎn)生臭氧和原子氧。臭氧對(duì)254nm波長(zhǎng)的紫外光同樣具有強(qiáng)烈的吸收作用,臭氧又分解為原子氧和氧氣。其中原子氧是極活潑的,在它作用下,物體表面上的碳和碳?xì)浠衔锏姆纸馕锟苫铣煽蓳]發(fā)的氣體：二氧化碳和水蒸氣等逸出表面，從而徹底清除了黏附在物體表面上的碳和有機(jī)污染物。清洗時(shí)，使基板治濕性向上。玻璃基板是以滾輪方式輸送，上方裝置低壓***燈產(chǎn)生紫外線(xiàn)照射。玻璃基板所累積紫外線(xiàn)能量愈多，其表面水接觸愈小，成反比關(guān)系。一般STN-LCD制作過(guò)程中，需求的玻璃基板累積紫外線(xiàn)能量為300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩色STN-LCD及彩色濾光片制作過(guò)程中，要求的玻璃基板累積紫外線(xiàn)能量為600nj/cm2(253.7nm)。在TFT-LCD制作過(guò)程中，除了低壓***燈產(chǎn)生臭氧清洗玻璃外，目前制程的主流是，使用Excimer Lamp,其172nm波長(zhǎng)紫外線(xiàn)的高反應(yīng)性質(zhì)對(duì)玻璃的清洗效率更好。