復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。單流向型無塵室，很多都是設(shè)計成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。

并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1~100級。潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用***之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

　 氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的步。風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。2、無塵室廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。

潔凈室（無塵室）吸塵器的主要組成：

大扒頭：當(dāng)清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。

小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺底部的灰塵和顆粒。

圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺臺面，清楚工作臺面細(xì)微的小顆粒

伸縮桿：增大清掃范圍領(lǐng)域。

軟管：機(jī)器正常工作時，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經(jīng)過吸口有軟管傳遞到過濾系統(tǒng)。

集塵袋：潔凈室吸塵器的過濾系統(tǒng)，也是為重要的環(huán)節(jié)，收集人眼能分辨的小顆粒，對保護(hù)馬達(dá)和過濾器有重要作用。

電源開關(guān)：控制吸塵器的啟動和關(guān)閉。

過濾器：過濾器是吸塵器的第四大過濾系統(tǒng)，也是后一個環(huán)節(jié)，過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之后的空氣達(dá)到100級以上。