真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有******。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護***。

真空檢漏設備真空檢漏設備

羅茨泵從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占***羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場另外，還要考慮到有些***和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。

分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的***。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

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真空泵真空設備檢漏與維修

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機械安裝：⑴真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、***。安裝原理圖⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩(wěn)，振動小。⑶真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。）⑷在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。⑸按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。⑹真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向）⑺對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。⑻如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。⑼當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

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工作條件：

　?、贆z漏儀要工作必須使檢漏儀內部真空系統正常工作，因此檢漏儀機械泵8、分子泵1 和電磁閥V1 串聯工作，達到質譜室所需要的高真空，滿足離子源可靠工作時即達到檢漏儀工作條件，即我們所說的自檢通過。

　?、跐M足檢漏口14 達到1000 Pa 以下，由于真空自耗電弧爐容積約2~3m3，因此無法使用檢漏儀自身的真空泵進行爐室抽空，必須使用電弧爐的真空系統作為檢漏儀的輔助系統對其抽空，從而滿足檢漏口1000 Pa 以下的使用要求。

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