半導體測試手動探針臺是專門為教學及科研機構量身定制的，具有良好的性能價格比，可測量pA級微小電流，配合測量儀器可完成標準MOS準靜態(tài)C-V和高頻（1MHz）C-V等測量要求。操作簡便，性能穩(wěn)定可靠，屏蔽效果好。客戶名錄：復旦大學微電子系、復旦大學微電子研究院、北京大學電子系、中科院化學所、大連理工大學、四川大學微電子系、濟南大學物理系、哈爾濱工業(yè)大學、南京大學物理系、浙江大學硅材料******實驗室、95992***。
產品介紹
技術指標
1、承載臺：
移動范圍： 手動調節(jié)，X方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；
手動調節(jié)，Y方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；
手動調節(jié)，Z方向5mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
2、探針座：
移動范圍： 手動調節(jié)，X方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
手動調節(jié)，Y方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；
手動調節(jié)，Z方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm。
3、顯微鏡：
移動方向：Y，Z方向
總放大倍數：光學顯微鏡***大200X 連續(xù)可調；視頻顯微鏡***大400X,（10”液晶顯示器）
光源：環(huán)形熒光燈，220vAC，9w
4、 電氣指標：
測量電流：可測量1pA電流
測量試驗要求：a. 探針和chuck的漏電不大于1PA；
b. 探針和chuck的噪聲不大于1PA；
c. 測量電壓從-10V到+10V, 測量儀器4156C
5、加熱臺面指標：
加熱溫度范圍：常溫－200攝氏度或更高
溫度控制精度：常溫－100攝氏度：&plu***n;1攝氏度；
100－200攝氏度：&plu***n;2攝氏度；
晶片固定方式：壓式固定和真空吸附