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d.與泵腔的接觸點到排氣口之間的***空間有關(guān),***空間中的氣體不能被旋片泵排出泵腔,而會被帶回吸氣側(cè),導(dǎo)限壓力的升高,泵中的循環(huán)泵油填充到***空間,可消除***空間對極限壓力的影響。
e.零件的加工精度,運動件之間的間隙,軸端密封等。
2.抽氣速率:單位時間內(nèi)排出氣體的體積,單位為L.S-1。
a.名義抽速:旋片泵出廠的標(biāo)牌抽速。b.幾何抽速:旋片泵在額定轉(zhuǎn)速下,單位時間排出的幾何容積,與吸氣終了時的吸氣腔容積,轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速,以及旋轉(zhuǎn)一周的吸排氣次數(shù)有關(guān)。c.實際抽速:實際測得的抽速,是入口壓力的函數(shù)。
3.電機功率:與壓縮氣體、克服摩擦、過載有關(guān)。
結(jié)構(gòu)特點
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜承和動密封的復(fù)合分子泵,可以做到完全無油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。分類
復(fù)合式分子泵的形式很多,按結(jié)構(gòu)分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級數(shù)在 l0 級以內(nèi)。牽引級主要用來增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。
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工作原理
旋片式真空泵多為中小型真空泵。旋片式真空泵有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種。所謂雙級旋片式真空泵,就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。
旋片式真空泵的抽速與入口壓強的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強為1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和 20%。
圖二是雙級泵工作原理圖,它由兩個單級泵串聯(lián)組成。工作時,被抽氣體首先經(jīng)吸氣筒進(jìn)入高真空級。 當(dāng)吸入氣體壓強較高時,一部分氣體由排氣閥2排出,另一部分氣體經(jīng)低真空級,由排氣閥1排出。 當(dāng)吸入氣體壓強較低時,雖經(jīng)高真空級壓縮,但排氣閥2仍不能打開排氣,只能經(jīng)低真空極繼續(xù)壓縮,由排氣閥1排出,因雙級泵的極限真空比單級泵高。