真空鍍膜機(jī)工件除氣的必要性和真空鍍膜機(jī)分類(lèi)介紹

真空狀態(tài)是支持真空鍍膜機(jī)運(yùn)作的環(huán)境，特別是需要高真空度的設(shè)備，通常我們需要達(dá)到高真空度，抽氣系統(tǒng)的作用是功不可沒(méi)的，但除了抽氣系統(tǒng)外，在真空鍍膜設(shè)備運(yùn)行的過(guò)程中，還有一點(diǎn)就是，工件的除氣。

有些工件它本身內(nèi)部存在著很多的氣體、水分等，這些物質(zhì)都會(huì)隨著設(shè)備加熱時(shí)被排放到真空室中，降低了真空度，更甚者，有些氣體帶***性成分，直接損害到真空室內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu)，造成設(shè)備不能正常運(yùn)作。另外，正在鍍膜過(guò)程中，由于工件內(nèi)氣體加熱膨脹，容易使已經(jīng)鍍上的膜層裂開(kāi)，當(dāng)然這個(gè)情況出現(xiàn)的機(jī)率視工件本身物理性質(zhì)有關(guān)，像塑料等容易膨脹的，機(jī)率就比較高，像金屬等硬質(zhì)的，機(jī)率就比較低，但也不能忽視，因此工件的除氣是非常必要的。

通常我們使用的工件除氣方法是烘烤，通過(guò)加熱把工件內(nèi)的氣體、水分排出，在鍍膜前，抽氣的同時(shí)，對(duì)工件進(jìn)行加熱，當(dāng)工件內(nèi)水分和氣體由于加熱而放出后，隨著真空室內(nèi)的氣體一起被真空泵抽出。

針對(duì)不同的工件采取不一樣的除氣措施，有效控制工件內(nèi)部氣體與水分排放，提高鍍膜的穩(wěn)定性和均勻性。真空鍍膜機(jī)分類(lèi)和適用范圍真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

真空鍍膜機(jī)是如何操作真空電阻式蒸發(fā)鍍膜機(jī)的

隨著真空鍍膜機(jī)的工藝發(fā)展不斷革新，而硬質(zhì)薄膜的設(shè)計(jì)向著多元化、多層膜的方向發(fā)展。成為現(xiàn)代企業(yè)優(yōu)選的鍍膜工藝。今天我們通過(guò)中國(guó)真空協(xié)會(huì)的***剖析后，給予詳細(xì)作答。其實(shí)鍍膜機(jī)的正常操作方法應(yīng)該參考操作手冊(cè)的指示操作。

不過(guò)大致的操作程序，我們簡(jiǎn)單的說(shuō)一下吧：

1、檢查真空鍍膜設(shè)備各操作控制開(kāi)關(guān)是否在;關(guān)位置。

2、打開(kāi)總電源開(kāi)關(guān)，真空鍍膜設(shè)備送電。

3、低壓閥拉出。開(kāi)充氣閥，聽(tīng)不到氣流聲后，啟動(dòng)升鐘罩閥，鐘罩升起。

4、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán)上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無(wú)任何雜質(zhì)污物。

5、落下鐘罩。

6、啟動(dòng)真空鍍膜設(shè)備抽真空機(jī)械泵。

7、開(kāi)復(fù)合真空計(jì)電源（復(fù)合真空計(jì)型號(hào)：Fzh-1A)。

8、多弧離子鍍膜機(jī)當(dāng)?shù)驼婵毡韆mp;ldquo;2amp;rdquo;內(nèi)指針再次順時(shí)針移動(dòng)至6.7Pa時(shí)，低壓閥推入。

9、真空鍍膜設(shè)備開(kāi)通冷卻水，啟動(dòng)擴(kuò)散泵，加熱40min。

10、低壓閥拉出。立式單開(kāi)門(mén)鍍膜機(jī)重復(fù)一次⑦動(dòng)作程序：左下旋鈕;轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。低真空表;內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)，當(dāng)指針移動(dòng)至6.7Pa時(shí)，開(kāi)高壓閥。

真空鍍膜機(jī)薄膜均勻性概念

1.厚度上的均勻性：也能夠理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的標(biāo)準(zhǔn)上看（也即是1/10波長(zhǎng)作為單位，約為100A），真空鍍膜機(jī)的均勻性現(xiàn)已相當(dāng)好，能夠輕松將粗糙度操控在可見(jiàn)光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi)，也即是說(shuō)關(guān)于薄膜的光學(xué)特性來(lái)說(shuō)，真空鍍膜沒(méi)有任何妨礙。

2.化學(xué)組分上的均勻性：即是說(shuō)在薄膜中，化合物的原子組分會(huì)由于標(biāo)準(zhǔn)過(guò)小而很簡(jiǎn)單的發(fā)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，假如鍍膜進(jìn)程不科學(xué)，那么實(shí)踐外表的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的份額，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技能含量地點(diǎn)。

3.晶格有序度的均勻性：這決議了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技能中的熱點(diǎn)問(wèn)題。

多片式比較片裝置的設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和周向?qū)ΨQ(chēng)的固定方式，可保證其有足夠的強(qiáng)度和剛度，同時(shí)，還可阻止高溫濺射磨料對(duì)其內(nèi)部零部件污染，保證撥動(dòng)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。

2)圓形軸承座的設(shè)計(jì)，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸的直徑尺寸，加大軸承座中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強(qiáng)度和剛度，保證轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中軸1的剛度和撥動(dòng)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。

3)裝載換位機(jī)構(gòu)，通過(guò)擴(kuò)大支承盤(pán)的直徑，使該機(jī)構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片由單片玻璃作為一個(gè)比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個(gè)比較片存儲(chǔ)筒內(nèi)，實(shí)現(xiàn)一次可放置50~100片比較片，解決鍍膜機(jī)鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問(wèn)題。

4)***盤(pán)與槽型光藕的配合，通過(guò)槽型光藕來(lái)感知***盤(pán)上三個(gè)均分的120°狹縫，控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)停止。軸1旋轉(zhuǎn)***重復(fù)的一致性得到保證，帶動(dòng)撥動(dòng)盤(pán)完成準(zhǔn)確的撥片動(dòng)作。

5)轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)引入威爾遜密封機(jī)構(gòu)，既保證電機(jī)通過(guò)齒輪嚙合帶動(dòng)軸的靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，又保證真空室對(duì)外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置，其特點(diǎn)：(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，強(qiáng)度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制；