凈化工程定義

凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。

凈化工程分類

亂流式、層流式（水平層流式、垂直層流式）、復合式（潔凈隧道、潔凈管道、并裝局部潔凈室）

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潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。三、布銅網(wǎng)：待底涂固化后，在地面鋪設(shè)橫豎3米見方的銅網(wǎng)層，并留出接地線盒。ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

特性：擁有環(huán)氧樹脂地板的一切優(yōu)異性能，可快速排泄靜電電荷、防靜電效力持久、表面電阻率達到10?5-109Ω、地面電阻排泄符合國際GB6650-86A標準。

適用范圍：生物工程車間、電子、微電子車間、無塵凈化室、電子元件生產(chǎn)區(qū)、半導體車間***T、邦定車間等。