金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢，本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會(huì)及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如耐磨損性、抗腐蝕性、電絕緣性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。目前，國內(nèi)硅片多線切割設(shè)備仍然是國外品牌廠家統(tǒng)治的天下，其核心技術(shù)長期為他們所壟斷，嚴(yán)重制約我國光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

金剛石線切割機(jī)

金剛石線徑的選擇：

金剛石線徑通常根據(jù)材料的特性選擇，一般硬度高、強(qiáng)度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割，因此應(yīng)選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線，以此來保證金剛石線切割機(jī)對材料的切割能力和切割速度。當(dāng)切割的材料易于切割時(shí)不需要很大的摩擦力便能將材料切削，因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。大理石切割難度并不大，但浪費(fèi)嚴(yán)重，對于線切割來講，應(yīng)用到大理石切割中可以大大提***率和精度。一些時(shí)候?qū)嶒?yàn)者會(huì)根據(jù)個(gè)人實(shí)驗(yàn)?zāi)康幕虮磺懈畈牧系奶匦詫η懈罹€徑進(jìn)行具體要求，如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內(nèi)或要求盡可能節(jié)約樣品，這時(shí)所用金剛石線應(yīng)按規(guī)定選擇適當(dāng)?shù)木€徑。

大理石切割

大理石的名稱源于其盛產(chǎn)于中國云南大理而得名。大理石磨光后非常美觀。主要用于加工成各種形材、板材，作建筑物的墻面、地面、臺(tái)、柱，還常用于紀(jì)念性建筑物如碑、塔、雕像等的材料。大理石還可以雕刻成工藝美術(shù)品、文具、燈具、器皿等實(shí)用藝術(shù)品。

大理石切割難度并不大，但浪費(fèi)嚴(yán)重，對于線切割來講，應(yīng)用到大理石切割中可以大大提率和精度。

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