KW-5型 勻膠機 (spin coater)
1,特點是雙轉(zhuǎn)速勻膠機,兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn).
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500 -1000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1000-5000轉(zhuǎn)/分 Ⅱ檔 勻膠時間:3-60秒
2,進口轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準.
3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1% ,膠的均勻性:±3% .
4,三相電源:380V
5,電機功率:180W
6,適用:Φ100-Φ200mm(4”~~8”)硅片及其它材料等勻膠.
7,真空泵抽氣速率 ≥1200升/分
8,設(shè)備尺寸:500×500×460 mm
產(chǎn)品用途: KW型勻膠機適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片等工藝,制版的表面涂覆.
(備注 SIYOUYEN 鑫有研 商標注冊號 4925464 請認準鑫有研品牌)