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潔凈度100級（ISO4）：大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的塵粒數(shù)為0。潔凈度1000級(ISO5)：大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于3500粒/m3（3.5粒/L）到小于等于35000粒/m3（35粒/L）；大于等于5μm的塵粒數(shù)小于等于300粒/m3（0.3粒/L）。

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潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過，東莞木蠟油，在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。

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根據(jù)氣流的流動狀態(tài)分，主要有以下三種氣流分布的潔凈室 [1] ：（1） 非單向流潔凈室：以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點(diǎn)：終端過濾器（或亞）盡

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