凈化工程解決方案:對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。從確保潔凈室內(nèi)相對濕度的精度而言,車間凈化工程,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,潔凈室凈化工程,故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時(shí)盡量不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個(gè)噴蒸汽效率的問題,并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中,而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此,選擇干蒸汽加濕的加濕量時(shí)應(yīng)考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。
凈化工程復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,凈化,可提供局部超潔凈之空氣。
潔凈隧道(Clean
Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域百1分百覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):
A.彈性擴(kuò)充容易;
B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展
對于半導(dǎo)體設(shè)備來講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的是集成電路,而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為***的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)***和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。
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