真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

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真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

概述

本設(shè)備適用對(duì)充氣環(huán)網(wǎng)柜（以下簡(jiǎn)稱工件）進(jìn)行真空法檢漏。同步對(duì)工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大于0.04Mpa，對(duì)被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測(cè)，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用，后向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6和氮?dú)夤ぷ鳉怏w。

回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時(shí)，真空箱氦檢漏儀器哪家好，利用壓縮機(jī)的抽吸性和壓縮性把SF6電器設(shè)備內(nèi)一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機(jī)，并壓縮至某一較高的壓力。同時(shí)利用R22制冷劑的低蒸發(fā)溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進(jìn)行液化、貯存。這樣連續(xù)抽吸至SF6壓縮機(jī)串聯(lián)運(yùn)行，直至達(dá)到回收終壓力。

性能特點(diǎn)

1、安全

★ 電氣系統(tǒng)具有自我檢測(cè)、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能，北京氦檢漏儀器哪家好，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行可靠安全和被檢工件的安全。

★ 真空箱門設(shè)安全光電保護(hù)裝置，確保操作者安全

★ 氦氣示蹤安全環(huán)保。

★ 儲(chǔ)氣罐和壓縮機(jī)出口配置安全閥保證系統(tǒng)安全。

2、高靈敏度

★ 檢漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影響。

真空箱式氦檢漏設(shè)備【驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)】

由于真空箱式氦檢漏系統(tǒng)是比較好的設(shè)備，半導(dǎo)體氦檢漏儀器哪家好，所以需要用戶進(jìn)行驗(yàn)收，以免后期使用過程中產(chǎn)生問題，難以解決。首先是設(shè)備在運(yùn)往用戶工廠后根據(jù)技術(shù)協(xié)議逐條驗(yàn)收，之后進(jìn)行操作、維修等技術(shù)培訓(xùn)，驗(yàn)收合格后雙方簽字生效。然后需方收到設(shè)備后應(yīng)及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行驗(yàn)收，以免延期因保管出現(xiàn)的產(chǎn)品質(zhì)量問題。需要注意系統(tǒng)調(diào)試需要用測(cè)試工件。

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真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

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機(jī)械系統(tǒng)主要由以下四個(gè)單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測(cè)量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲(chǔ)氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機(jī)、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計(jì)和管道等組成。能在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)對(duì)工件進(jìn)行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)部分的氦檢漏單元，氦質(zhì)譜檢漏儀采用進(jìn)口產(chǎn)品，自動(dòng)校準(zhǔn)漏孔。技術(shù)成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調(diào)緊密。

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