高純***氣是無色無味氣體?；瘜W(xué)性質(zhì)極不活潑，未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃)；液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點(diǎn)-185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。采用空氣分離提***，即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗***。抽出粗***，經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純***。高純***在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純***也可作為色譜載氣。***被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護(hù)氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
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高純***氣的性質(zhì)
高純***氣的物理化學(xué)性質(zhì)
臨界溫度： -122.4℃
臨界壓力： 4864kPa
臨界密度： 530.7kg/m3
熔化熱(-189.37℃，68.7kPa)； 29.43 kJ/kg
氣化熱(-185.86℃，101.325kPa)：160.81kJ/kg
比熱容(100kPa，270K)：Cp=519.16 J/(kg·K)
(100kPa，300K)：Cv=309.82 J/(kg·K)
比熱比(氣體，26.85℃，101.325kPa)：1.669
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高純***氣在高濃度時(shí)有窒息作用。當(dāng)空氣中***氣濃度高于33%時(shí)就有窒息的***。當(dāng)***氣濃度超過50%時(shí)，出現(xiàn)嚴(yán)狀，濃度達(dá)到75%以上時(shí)，能在數(shù)分鐘內(nèi)。
在空氣中含有的0.932%的***，沸點(diǎn)在氧、氮之間，在空分裝置上塔的中部含量高，叫***餾分。在分離氧、氮的同時(shí)，將***餾分抽出，進(jìn)一步分離提純，也可得到***副產(chǎn)品。對全低壓空分裝置，一般可將加工空氣中30%～35%的***作為產(chǎn)品獲得(新流程已可將***的提取率提高到80%以上)。
雖然是惰性氣體，同時(shí)也是窒息性氣體，大量吸入會(huì)產(chǎn)生窒息。生產(chǎn)場所要通風(fēng)，并且，從事與***氣有關(guān)的技術(shù)人員，每年定期進(jìn)行職業(yè)病體檢，確保身體健康。
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