直線步進電機模組的工作原理

直線步進電機是將電能直接轉(zhuǎn)化為直線運動機械能，而不需要任何中心轉(zhuǎn)換安排的一種傳動裝置。直線步進電機模組可以看作是一個旋轉(zhuǎn)電機，割裂徑向，振動音圈電機，并展開成一個平面。由定子演化而來的變稱為主定子，由轉(zhuǎn)子演化而來的稱為次定子。在實踐中，首要和非必須被制造成不同的長度，以確保首要和非必須的耦合保持穩(wěn)定在所需的行程規(guī)模。

直線步進電機模組控制技術(shù)的研究可以分為傳統(tǒng)控制技術(shù)、現(xiàn)代控制技術(shù)和智能控制技術(shù)三個方面。傳統(tǒng)的控制技術(shù)如PID反響控制寬和耦控制在溝通伺服體系中得到了廣泛的使用。PID控制包含動態(tài)控制過程中的信息，具有較強的魯棒性。它是溝通伺服電機驅(qū)動體系的根本控制辦法。

直線步進電機原理結(jié)構(gòu)圖介紹

上述介紹的直線步進電機稱為扁平型直線電機，是目前應(yīng)用較為廣泛的，除了上述扁平型直線電機的結(jié)構(gòu)形式外，直線電機還可以做成圓筒型（也稱管型）結(jié)構(gòu)，它也可以看作是由旋轉(zhuǎn)電機演變過來的，其演變的過程如圖1-6所示。

旋轉(zhuǎn)電機通過鋼繩、齒條、皮帶等轉(zhuǎn)換機構(gòu)轉(zhuǎn)換成直線運動，這些轉(zhuǎn)換機構(gòu)在運行中，其噪音是不可避免的，而直線步進電機是靠電磁推力驅(qū)動裝置運行的，故整個裝置或系統(tǒng)噪聲很小或無噪聲，運行環(huán)境好。圖1-6a中表示一臺旋轉(zhuǎn)式電機以及定子繞組所構(gòu)成的磁場極性分布情況，圖1-6b表示轉(zhuǎn)變?yōu)楸馄叫椭本€電機后，初級繞組所構(gòu)成的磁場極性分布情況，然后將扁平型直線電機沿著和直線運動相垂直的方向卷接成筒形，這樣就構(gòu)成圖1-6c所示的圓筒型直線電機。

此外，直線步進電機還有弧型和盤型結(jié)構(gòu)。所謂弧型結(jié)構(gòu)，就是將平板型直線電機的初級沿運動方向改成弧型，并安放于園柱形次級的柱面外側(cè)，如圖1-7所示。 圖1-8是圓盤型直線電機，該電機把次級做成一片圓盤（銅或鋁，或銅、鋁與鐵復(fù)合），將初級放在次級圓盤靠近外緣的平面上，盤型直線電機的初級可以是雙面的，也可以是單面的?；⌒秃捅P型直線電機的運動實際上是一個圓周運動，如圖中的箭頭所示，然而由于它們的運行原理和設(shè)計方法與扁平型直線電機結(jié)構(gòu)相似，故仍歸入直線步進電機的范疇。

淺談直線步進電機有哪些常見問題

直線步進電機是否適用于潔凈室

直線電機適用于潔凈室。許多前端半導(dǎo)體使用都使用在直線步進電機，在晶圓制作工廠，高精度光刻機放置在等級為10的潔凈室里，直線步進電機使用于其間XY***渠道，適用納米分辨率來完成亞微米級精度。直線電機也使用在其它領(lǐng)域中，半導(dǎo)體后端包裝、測驗、硬盤的裝配與測驗等使用，都在潔凈室里。在潔凈室里，相比較傳統(tǒng)的滾珠絲杠驅(qū)動，直線電機的驅(qū)動***沒有接觸，因而沒有磨損而導(dǎo)致粒子生成。直線步進電機不需要潤滑劑，由于潤滑劑也是污染源。