SUNGOLL品牌 12寸晶圓測量儀 封裝基板接觸角 芯片水滴角 基板水滴角
一．主機圖片：
實物拍攝，外觀風(fēng)格設(shè)計，盜圖必究——
二．功能概述：
本系列是根據(jù)晶圓（Wafer）樣品尺寸特別訂制的具有圓形樣品臺的接觸角測量儀。通過測試液滴在晶圓樣品表面形成接觸角的大小，來檢測其表面的潔凈程度和評估表面處理的工藝效果。
三．選型指南：
儀器型號 | SGC-B1Y300 | SGC-B3Y300 | |
滴液系統(tǒng) | 滴液方式 | 手動旋鈕式 | 軟件控制自動式 |
***小滴液量 | 0.1μl/滴 | ||
滴液精度 | ±1μl | ±0.05μl | |
主機尺寸 | 約W1165×D600×H500mm | 約W1165×D600×H560mm | |
主機重量 | 約40kg | 約50kg | |
電源要求 | 1∮ AC220V 50HZ | 1∮ AC220V 50HZ |
四．技術(shù)指標(biāo)：
技術(shù)項目 | 功能指標(biāo) |
1．接觸角測量 | 1-1．分析算法：量高法、量角法、圓環(huán)法、橢圓法、切線法、Y-L法 1-2．具有左接觸角、右接觸角和平均接觸角分開測試和比較功能 1-3．具有凹面、凸面、弧面、超親水、超疏水等特殊表面分析功能 1-4．具有不規(guī)則形、非軸對稱本征接觸角的分析功能 1-5．具有自動分析接觸角變化過程的批處理測試功能 |
1-6．測量范圍：0°～180° 1-7．測量精度：±0.1° 1-8．提供標(biāo)定塊，可隨時對測量精度進(jìn)行校準(zhǔn) 1-9．測量分辨率：0.001° | |
2．表面/界面張力測量 | 2-1．分析算法：手動法、自動法 2-2．測量范圍：0.01～2000mN/m 2-3．測量精度：±0.1% 2-4．測量分辨率：0.001mN/m |
3．表面能估算 | 3-1．估算模型：Fowkes、擴展Fowkes、Owens-Wendt、van OSS、 Wu調(diào)和平均法、狀態(tài)方程法 3-2．可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、 路易斯酸分量、路易斯堿分量等 |
3-3．液體數(shù)據(jù)庫：預(yù)置37種常用液體表面張力及其分量數(shù)據(jù)， 數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算 3-4．液體庫數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改 | |
4．潤濕性分析 | 4-1．通過液體的表面張力和對固體的接觸角可分析該固體的潤濕程度， 包括粘附功、鋪展系數(shù)和粘附張力 |
5．?dāng)?shù)據(jù)管理 | 5-1．通過試驗?zāi)０灞４嬖囼炐畔?、試驗?shù)據(jù)和圖片 5-2．新建的試驗?zāi)０灞４婧罂芍貜?fù)調(diào)入使用 5-3．可對試驗數(shù)據(jù)進(jìn)行修改、刪除和調(diào)入再分析等 5-4．試驗數(shù)據(jù)可標(biāo)注于圖片上，并隨圖片一起保存 5-5．試驗結(jié)果可導(dǎo)出至Word、Excel和PDF |
6．圖像拍攝 | 6-1．單張拍攝、連續(xù)拍攝、視頻錄制和圖片回放 6-2．可選擇采用相機外觖發(fā)功能自動拍攝 |
7．光學(xué)成像系統(tǒng) | 7-1．相機：300萬像素、幀率36幀/秒 7-2．鏡頭：0.7～4.5×連續(xù)變倍、工作距離315mm 7-3．調(diào)焦范圍：±12.5mm；調(diào)焦精度：0.25mm 7-4．調(diào)焦時軟件自動檢測清晰度，消除人為誤差 7-5．水平和俯仰調(diào)整范圍：±2° 7-6．背光源：LED冷光源+遮光板，亮度無極調(diào)節(jié) |
8．樣品臺 | 8-1．臺面尺寸：?300mm 8-2．移動行程：X軸=300mm；Y軸=400mm；Z軸=50mm；θZ軸=360° 8-3．移動方式：手動旋鈕控制三維移動*** |
