氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系

流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種：

體積流量的公式為Q=VS，Q代表氣體的體積流量（m/s），V代表氣體的平均流速（m/s），S代表氣路管道的橫截面積（㎡）。

質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS，M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s），數(shù)字流量控制器多少錢，ρ代表氣體的密度（kg/m），Q代表氣體的體積流量（m/s）。

重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM，G代表氣體的重量流量（kgf/s），數(shù)字流量控制器公司，γ代表氣體的介質(zhì)重度（N/㎡），M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s）。

氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體， 包括腐蝕性氣體和特殊氣體， 但是要注意， 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體， 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)， 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體， 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤， 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體， 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高， 通常要求不高的場(chǎng)合， 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明，數(shù)字流量控制器， MFC都采用氟橡膠密封， 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體， 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體， 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa， 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過，數(shù)字流量控制器哪家好，即電磁閥漏氣?？蛻魬?yīng)用MFC時(shí)， 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

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