。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，湖北風(fēng)淋室，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高，粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。


大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴格的要求，風(fēng)淋室凈化車間，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施，例如：夏季要降溫、去濕（因為夏季室外空氣是高溫、高濕的），冬季要加熱加濕（因為冬季室外空氣是寒冷干燥的，室內(nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電，靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的）。

1、自動化控制，單人單吹風(fēng)淋室系統(tǒng)采用PLC智能化的控制手段，控制面板上LED顯示屏可正確顯示風(fēng)淋的運行狀態(tài)、雙門的互鎖狀態(tài)、風(fēng)淋周期進度和開門狀態(tài)。并設(shè)有光電感應(yīng)器，單向通道風(fēng)淋室，從非潔凈區(qū)進入，關(guān)門后紅外線感應(yīng)到人就吹淋，風(fēng)淋室生產(chǎn)廠家，吹淋后入門鎖閉，只能從出門走出風(fēng)淋室；

　　2、單人單吹風(fēng)淋室主板軟鍵觸按式時間繼電器，LED顯示及設(shè)置吹淋時間，范圍在10-99s可調(diào)，可根據(jù)風(fēng)淋室外部環(huán)境的差異調(diào)節(jié)吹淋時間；

　　3、模塊式結(jié)構(gòu)，單人單吹風(fēng)淋室箱體采用模塊化設(shè)計方案；

　　4、、高密封，無塵車間風(fēng)淋室，采用進口電子元器件，運行性能 ，***的減噪靜音裝置系統(tǒng)及采用EVA密封材料，密閉性能高。

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