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真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,sv630真空泵維修,需要預(yù)真空。有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,萊寶真空泵維修,故都需要把泵組合起來使用。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
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一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件,吸附真空泵維修,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。
在使用萊寶真空泵過程中可能會出現(xiàn)軸裂的現(xiàn)象,這是因?yàn)檎婵毡玫氖褂脳l件決定其運(yùn)行過程中受力不一致,這就造成了軸與葉輪配合的部分發(fā)生磨損,擴(kuò)大了軸與葉輪的間隙,隨著葉輪在軸上竄動,間隙會越來越大,受力也越來不均勻,因此軸裂的間隙更大了。而且當(dāng)葉輪在軸上不斷竄動時,真空泵維修,葉輪會一次又一次的和兩側(cè)泵蓋碰撞磨損,這也會造成葉輪與泵蓋間的間隙變大,甚至?xí)箼C(jī)泵失效而失去作用。
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