微流量氣體質(zhì)量流量傳感器CAFS3000系列
描述
CAFS3000系列氣體質(zhì)量流量傳感器是采用微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片制作,適用于各種清潔、相對干燥性微小流量氣體的測量和過程控制使用,特殊的封裝技術使得相同口徑下的產(chǎn)品可以滿足不同范圍的流量測量,同時確保高靈敏度,高可靠性,高穩(wěn)定性和低成本。產(chǎn)品應用十分廣泛。
特點:
供電范圍寬:8-24V
精度高:(1.5%FS滿量程)
線性輸出和無需溫度補償
長期穩(wěn)定性好
固態(tài)傳感核心(無表面空洞或易碎膜),抗堵塞和壓力沖擊
模擬輸出1-5V或者I2C數(shù)字輸出
快速響應時間(可選9ms)
流量范圍寬0sccm-2000sccm
能夠適應于相對潮濕性氣體測量
傳感器可耐冷凝水
典型應用:
制氧機 呼吸器 噴霧器 持續(xù)氣道正壓通氣設備 分娩 檢漏
光譜儀 質(zhì)量流量控制器 通訊系統(tǒng) 環(huán)境氣候控制