在現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)及科學(xué)實(shí)驗(yàn)中對空氣濕度的重視程度日益提高，要求也越來越高，如果濕度不能滿足要求，將會(huì)造成不同程度的不良后果，例如：
1）電子廠、半導(dǎo)體廠、程控機(jī)房、防爆工廠等場所的濕度要求一般在40%~60%RH，如果相對濕度不夠則會(huì)造成靜電，使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損，甚至在一些防爆場所會(huì)造成，“靜電轟擊”所帶來的危害是不可估量的，當(dāng)空氣濕度低于40%RH時(shí)是極易產(chǎn)生靜電的，雖然人們采取了很多辦法去除靜電，而將空氣濕度提高到45%RH以上是****有效的。倉儲(chǔ)保鮮：冷調(diào)庫、紅酒柜、超市保鮮：隨著人們生活品質(zhì)的提高，人們對水果、蔬菜、花卉等的貯存提出了較高的要求，要嚴(yán)格控制庫內(nèi)的溫濕度。
2）紡織廠、印刷廠、膠片廠等場所的濕度要求一般都很高，一般都大于60%RH，如紡織廠的濕度要求一般在50%~85%RH之間，黃化工段防止靜電、紡絲工段防止芒硝結(jié)晶都需要較高濕度，棉纖維的含濕量直接影響纖維強(qiáng)度，總之，紡織車間的空氣調(diào)節(jié)以保證工藝需要的相對濕度為主。在印刷及膠片生產(chǎn)過程中濕度不夠會(huì)造成套色不準(zhǔn)，紙張收縮變形，紙張粘連，產(chǎn)品質(zhì)量下降等問題。如此這般，既沒有兼顧到產(chǎn)品的特點(diǎn)，也發(fā)揮不了相應(yīng)的加濕器產(chǎn)品的優(yōu)勢，起不到節(jié)能、環(huán)保、的設(shè)備使用效果，實(shí)不足取。
1現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)對空氣濕度的重視程度日益提高，要求也越來越高，對于電子芯片廠房，如果濕度不能滿足要求，將會(huì)靜電，使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損，嚴(yán)重影響企業(yè)生產(chǎn)。
本工程為集成電路產(chǎn)品的生產(chǎn)項(xiàng)目，潔凈區(qū)平面為島型布置，操作區(qū)潔凈度為4，5級(jí)， 由于生產(chǎn)工藝的要求，對溫、濕度的要求很高：溫度21℃ ±0．5℃ ，相對濕度40％ ± 3％ ；設(shè)備區(qū)潔凈度為5．5級(jí)，無特定溫、濕度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)采用風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU) 干表冷器 新風(fēng)處理機(jī)組的型式。操作區(qū)為送風(fēng)區(qū)，設(shè)備區(qū)為回風(fēng)區(qū)。冷源分為兩種：低溫冷凍水(0℃～5 oC)， 中溫冷凍水(12℃～16℃)；熱源為38℃～32℃ 的熱水， 由熱水鍋爐和帶熱回收的冷凍機(jī)組提供。潔凈區(qū)的溫度由干表冷器控制，相對濕度由新風(fēng)處理機(jī)組控制。髙壓微霧噴霧器咀每秒鐘能造成50億次細(xì)顆粒物，細(xì)顆粒物的直徑僅為3~10μm,好似山間云霧繚繞，加濕減溫效果。
2 加濕方案選擇
由于熱源使用熱水，沒有蒸汽系統(tǒng)， 出于減少系統(tǒng)種類的考慮，首先選擇非蒸氣的加濕方式。淋水室加濕為等焓加濕，在加濕過程中不僅可以清潔新風(fēng)，部分去除新風(fēng)中的灰塵；還可以使新風(fēng)中的一部分化學(xué)物質(zhì)溶解于水， 降低新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)的含量。淋水室全年運(yùn)行，冬季用于加濕、清潔新風(fēng)，夏季則起到清潔新風(fēng)的作用。淋水室的缺點(diǎn)是占用空間大，在新風(fēng)處理機(jī)組中長度為1．9 m；與空氣直接接觸，易受污染變臟，需要定期排污。新風(fēng)處理機(jī)組由初效過濾器、中效過濾器、一級(jí)加熱盤管、一級(jí)冷卻盤管(使用12℃～16℃ 中溫冷凍水)、淋水室、二級(jí)冷卻盤管(使用0℃～5℃低溫溫冷凍水)、送風(fēng)機(jī)、二級(jí)加熱盤管、過濾器組成。新風(fēng)處理機(jī)組的組段方式見圖1。農(nóng)業(yè)：冷庫、溫室大棚、禽類養(yǎng)殖、牲畜養(yǎng)殖、花卉苗圃、食用菌類培養(yǎng)等加濕、降溫、消毒等。
