加濕器的結(jié)構(gòu)
根據(jù)熱、濕交換理論,在實(shí)際工程中我們將加濕器分為以下兩種:
1、等焓加濕器:即利用水吸收空氣的顯熱進(jìn)行蒸發(fā)加濕,其在焓、濕圖上的變化為近似等焓過程。超聲波加濕器可以選擇使用管道式送風(fēng)方式,將霧化后的濕空氣送至空間內(nèi),起到增濕、降溫、降塵效果。采用等焓加濕型式的加濕器有:高壓噴霧加濕器、蒸發(fā)式濕膜加濕器、水氣噴霧加濕器、離心噴霧加濕器、超聲波加濕器等幾種基本形式,根據(jù)其原理也衍生出多種形式的加濕器,例如風(fēng)管式濕膜加濕器、高壓微霧加濕器等
2、等溫加濕器:即利用熱能將液態(tài)水轉(zhuǎn)化成蒸汽與空氣混合進(jìn)行加濕,其在焓、濕圖上的變化為近似等溫過程。采用等溫加濕形式的加濕器有:干蒸汽加濕器、電極加濕器、電熱加濕器、蒸汽轉(zhuǎn)蒸汽加濕器、蒸汽加濕器等基本形式。
1現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)對空氣濕度的重視程度日益提高,要求也越來越高,對于電子芯片廠房,如果濕度不能滿足要求,將會靜電,使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損,嚴(yán)重影響企業(yè)生產(chǎn)。
本工程為集成電路產(chǎn)品的生產(chǎn)項目,潔凈區(qū)平面為島型布置,操作區(qū)潔凈度為4,5級, 由于生產(chǎn)工藝的要求,對溫、濕度的要求很高:溫度21℃ ±0.5℃ ,相對濕度40% ± 3% ;5.過濾系統(tǒng):PO過濾器,配有5微米、10微米雙級水過濾器,有效解決水質(zhì)問題,確保噴頭不被堵塞。設(shè)備區(qū)潔凈度為5.5級,無特定溫、濕度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)采用風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU) 干表冷器 新風(fēng)處理機(jī)組的型式。操作區(qū)為送風(fēng)區(qū),設(shè)備區(qū)為回風(fēng)區(qū)。冷源分為兩種:低溫冷凍水(0℃~5 oC), 中溫冷凍水(12℃~16℃);熱源為38℃~32℃ 的熱水, 由熱水鍋爐和帶熱回收的冷凍機(jī)組提供。潔凈區(qū)的溫度由干表冷器控制,相對濕度由新風(fēng)處理機(jī)組控制。
2 加濕方案選擇
由于熱源使用熱水,沒有蒸汽系統(tǒng), 出于減少系統(tǒng)種類的考慮,首先選擇非蒸氣的加濕方式。淋水室加濕為等焓加濕,在加濕過程中不僅可以清潔新風(fēng),部分去除新風(fēng)中的灰塵;還可以使新風(fēng)中的一部分化學(xué)物質(zhì)溶解于水, 降低新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)的含量。淋水室全年運(yùn)行,冬季用于加濕、清潔新風(fēng),夏季則起到清潔新風(fēng)的作用。淋水室的缺點(diǎn)是占用空間大,在新風(fēng)處理機(jī)組中長度為1.9 m;與空氣直接接觸,易受污染變臟,需要定期排污。新風(fēng)處理機(jī)組由初效過濾器、中效過濾器、一級加熱盤管、一級冷卻盤管(使用12℃~16℃ 中溫冷凍水)、淋水室、二級冷卻盤管(使用0℃~5℃低溫溫冷凍水)、送風(fēng)機(jī)、二級加熱盤管、過濾器組成。新風(fēng)處理機(jī)組的組段方式見圖1。吊裝式離心加濕器可以120度旋轉(zhuǎn)送風(fēng),送風(fēng)加濕面寬,吊裝不占地面,作為車間降溫降塵的設(shè)備,是。
高壓微霧噴霧器咀每秒鐘能造成50億次細(xì)顆粒物,細(xì)顆粒物的直徑僅為3~10μm,尤如山間云霧繚繞,加濕降溫實(shí)際效果。加濕系統(tǒng)軟件的環(huán)保節(jié)能特性:做霧化1公升水只需耗費(fèi)6W輸出功率,是傳統(tǒng)式電加熱加濕器的百分之一,是離心式風(fēng)機(jī)或水氣混合式教學(xué)降溫加濕器的十分之一。雖然在一些南方地區(qū)的加濕要求的時間很短,有的只有1—2個月,但只要工藝需要,保證生產(chǎn)的產(chǎn)品品質(zhì)不變,加濕問題就必須考慮。服務(wù)器工作中運(yùn)作的可信性:高壓微霧加濕器的服務(wù)器選用工業(yè)生產(chǎn)型齒輪泵,可二十四小時長期性持續(xù)運(yùn)行,噴嘴及霧水調(diào)節(jié)器無驅(qū)動力易:高壓微霧噴頭每秒鐘能造成50億次細(xì)顆粒物,細(xì)顆粒物的直徑僅為1~15μm,尤如山間云霧繚繞,加濕降溫實(shí)際效果。