退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門(mén)為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

臺(tái)車式退火爐臺(tái)車式退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電30%。生產(chǎn)采用復(fù)合式高鋁瓷釘組，臺(tái)車防撞擊密封磚，自動(dòng)密封臺(tái)車和爐門(mén)，一體化連軌，不需基礎(chǔ)安裝，放在水平地面即可使用。主要用于高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不銹鋼等淬火、退火、時(shí)效以及各種機(jī)械零件熱處理之用。

烘干流水線、隧道爐等烘干線主要由烘干室體、加熱系統(tǒng)及溫度控制等部分組成。烘干區(qū)體有隧道式、通過(guò)式、通道式;加熱系統(tǒng)的加熱方式有燃油式(重油、輕油)、燃?xì)馐?、液化氣)、電加熱(遠(yuǎn)紅外、電熱式)、蒸氣式等。

隧道爐

　　在20世紀(jì)50～60年代主要用蒸氣或電加熱器作為熱源來(lái)實(shí)現(xiàn)烘干固化，從60年開(kāi)始出現(xiàn)紅外線烘干，70年代出現(xiàn)遠(yuǎn)紅外干燥和微波烘干，90年代出現(xiàn)了高紅外快速加熱技術(shù)。隨著對(duì)烘干溫度的控制要求和溫度控制均勻性的要求，出現(xiàn)了在爐內(nèi)進(jìn)行熱風(fēng)循環(huán)，80年代后期出現(xiàn)了燃油(氣)熱風(fēng)循環(huán)的烘干固化爐，而且燃油(氣)熱風(fēng)烘干固化的應(yīng)用漸趨廣泛。