MEMS微納加工——廣東省科學院半導體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應用技術研究，兼顧重大技術應用的基礎研究，立足于廣東省經(jīng)濟社會發(fā)展的實際需要，從事電子信息、半導體領域應用基礎性、關鍵共性技術研究，以及行業(yè)應用技術開發(fā)。

mems設計之硅壓阻式壓力傳感器設計

　mems設計之硅壓阻式壓力傳感器，半導體微納加工服務價格，顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而改變輸出電信號。在傳感器設計上，半導體微納加工廠商，為了使傳感器具備良好線性輸出，要考慮其***大變形量，敏感薄膜表面***大應力差以及敏感芯片的壓敏電阻變化率，以滿足器件抗過載和輸出靈敏度的要求。

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微納加工技術的國內應用現(xiàn)狀

基于制造業(yè)對加工精度的要求日益提高，微納加工技術應運而生，從誕生至今，其應用領域得到了很大擴展。就國內而言，微納技術除了應用在微電子技術，生命科學生物工程以及材料應用外，在機電工程領域也有應用，但是受技術水平限制，國內的微納制造技術水平成熟度不夠，目前在工業(yè)領域的應用比較少。

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激光微納制造實驗室怎么樣？

超快激光微納制造實驗室是半導體行業(yè)不斷發(fā)展的結果，飛秒i激光具有超快超i強的特點，其與材料相互作用機理也完全不同于傳統(tǒng)激光。但是由于制造方法以及飛秒加工法人效率等多方面原因，目前大面積功能性微納結構的制備仍有很大挑戰(zhàn)，需要進一步的研究攻i克。

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