潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃***或高濃度氧氣的真空泵，天津芯片廠車間裝修，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，天津芯片廠車間裝修價格，可燃?xì)怏w濃度超過下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分。3．使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，天津芯片廠車間裝修效果圖，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。
有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法
現(xiàn)今社會，天津芯片廠車間裝修施工，無塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視，無塵凈化車間不僅能對產(chǎn)品的精度、質(zhì)量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用，同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。
地板：車間內(nèi)采用防靜電型PVC地板，其中千級和百級車間采用防靜電型架高鋼板，其它為普通型PVC地板。PVC地板是當(dāng)今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料，也稱為“輕體地材”使用非常廣泛，比如家庭、***、學(xué)校、辦公樓、工廠、公共場所、超市、商業(yè)等各種場所。暖通工程設(shè)備：空調(diào)制冷負(fù)荷：經(jīng)統(tǒng)計計算，總冷負(fù)荷約500KW。采用恒溫恒濕潔凈空調(diào)，夏季采用磁懸浮水冷機組，冬季采用廠區(qū)鍋爐熱水供熱。
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