可以應(yīng)用于塑料制成的基底。圖19.11展示一個(gè)操作者正在光學(xué)鍍膜機(jī)前。抽真空主系統(tǒng)由兩個(gè)低溫泵組成。電子束蒸發(fā)、IAD沉積、光控、加熱器控制、抽真空控制和自動(dòng)過程控制的控制模塊都在鍍膜機(jī)的前面板上。光學(xué)涂層可以直接應(yīng)用于光學(xué)元件的表面、以調(diào)整其反射率等。除此外可以利用材料的特性與多個(gè)膜層的配合作用可以達(dá)到很多特殊效果。
與PVD相比,ALD的沉積率通常較低。但ALD制備工藝可通過大批量的產(chǎn)能來進(jìn)行彌補(bǔ)。Beneq P400A 經(jīng)過優(yōu)化,精密光學(xué)鍍膜批發(fā)廠家,可在批量生產(chǎn)中以更快的生長速度沉積高保形厚膜。
基于豐富的經(jīng)驗(yàn)和軟件,Beneq可根據(jù)您的要求針對(duì)性地設(shè)計(jì)ALD膜層結(jié)構(gòu),以此獲得的光學(xué)性能。
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