頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面，故作為夾層內(nèi)首先考慮的對(duì)象。一般將其安排在夾層的上方，天津GMP車間設(shè)計(jì)，其下安排電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可承受一定重量時(shí)，天津GMP車間設(shè)計(jì)施工，可以在上面設(shè)置過(guò)濾器及排風(fēng)設(shè)備等。房間技術(shù)夾層。這種方式和只有頂部夾層相比，可以減少夾層的布線與高度，可以省去回風(fēng)管道返回上夾層所需的技術(shù)夾道。在下夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機(jī)動(dòng)力設(shè)備配電等，某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。
潔凈室的門窗造型要簡(jiǎn)單、平整、不易積塵、易于清洗，密封性能好
潔凈室的門窗造型要簡(jiǎn)單、平整、不易積塵、易于清洗，天津GMP車間設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)，密封性能好。門窗不應(yīng)采用木質(zhì)等引起微生物繁殖的材料，以免生霉或變形。門窗與內(nèi)墻宜平整，不應(yīng)設(shè)門檻，不留窗臺(tái)。潔凈室內(nèi)的門寬度應(yīng)能滿足一般設(shè)備安裝、修理、更換的需要。氣閘室、貨淋室的出入門應(yīng)有不能同時(shí)打開(kāi)的措施。潔凈廠房每層高度應(yīng)滿足潔凈室操作面凈高和技術(shù)夾層布置管線要求的凈空高度。需在技術(shù)夾層內(nèi)更換過(guò)濾器的技術(shù)夾層墻面、頂棚宜刷涂料飾面。
廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有***體。
空壓氣體工程：螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。
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