一種可行的解決方案就是采用電容式方案,來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點就是:在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度,因為在兩個電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且,由于尺寸的限制,在一些應(yīng)用場合偏置電壓很難滿足?;谏鲜鰡栴},對于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過
電容式麥克風(fēng)有兩塊金屬極板,其中一塊表面涂有駐極體薄膜(多數(shù)為聚全氟乙)并將其接地,另一極板接在場效應(yīng)晶體管的柵極上,柵極與源極之間接有一個二極管。當(dāng)駐極體膜片本身帶有電荷,表面電荷地電量為Q,板極間地電容量為C,則在極頭上產(chǎn)電壓U=Q/C,會議室全向麥克風(fēng)定制,當(dāng)受到振動或受到氣流地摩擦?xí)r,由于振動使兩極板間的距離改變,即電容C改變,
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