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MEMS微納加工——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一,主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究,兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究,立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的實際需要,從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究,以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。
微納加工制造用超高純電子氣體
“微納加工制造用超高純電子氣體”是***在2017年度***研發(fā)計劃,是由多家企業(yè)和多所高校聯(lián)合申請,該項目研究很大程度上可以促進(jìn)微納電子制造用戰(zhàn)略性***材料的國產(chǎn)化電子氣體在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用十分廣泛,在薄膜,光刻,刻蝕,摻雜,氣相沉積以及擴(kuò)散等環(huán)節(jié)都有所應(yīng)用,是支撐半導(dǎo)體發(fā)展必不i可少的基礎(chǔ)性原材料。
歡迎來電咨詢半導(dǎo)體研究所了解更多陽極鍵合微納加工~
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激光微納制造實驗室怎么樣?
超快激光微納制造實驗室是半導(dǎo)體行業(yè)不斷發(fā)展的結(jié)果,陽極鍵合微納加工加工,飛秒i激光具有超快超i強(qiáng)的特點,陽極鍵合微納加工代工,其與材料相互作用機(jī)理也完全不同于傳統(tǒng)激光。但是由于制造方法以及飛秒加工法人效率等多方面原因,目前大面積功能性微納結(jié)構(gòu)的制備仍有很大挑戰(zhàn),需要進(jìn)一步的研究攻i克。
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MEMS代工的壓力傳感器設(shè)計制造步驟
MEMS代工的壓力傳感器是一種薄膜元件,它在受到外部的壓力時會發(fā)生變形,可以通過電容感測兩個面之間的距離變化來加以測量,通常應(yīng)用于汽車行業(yè),醫(yī)u療市場和工業(yè)領(lǐng)域。MEMS壓力傳感器是具有電源,接口電器,執(zhí)行器,山西陽極鍵合微納加工,微型傳感器和信號處理的微型機(jī)電系統(tǒng),尺寸小,性價u比高。
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陽極鍵合微納加工加工-山西陽極鍵合微納加工-半導(dǎo)體微納由廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所提供。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是從事“深硅刻蝕,真空鍍膜,磁控濺射,材料刻蝕,紫外光刻”的企業(yè),公司秉承“誠信經(jīng)營,用心服務(wù)”的理念,為您提供更好的產(chǎn)品和服務(wù)。歡迎來電咨詢!聯(lián)系人:曾經(jīng)理。