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晶格有序度的均勻性:
這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問(wèn)題,具體見(jiàn)下。
主要分類有兩個(gè)大種類:
蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),派瑞林涂層防水,磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等
一、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜:
一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。
厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4、真空度
5、鍍膜時(shí)間,厚度大小。
組分均勻性:
蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,派瑞林涂層,對(duì)于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
晶向均勻性:
1、晶格匹配度
2、基片溫度
3、蒸發(fā)速率
金手指鍍膜在金手指表面形成一層納米鍍膜,主要有如下作用:
·降低鍍金層厚度甚至用鍍銀取代鍍金,大大降低生產(chǎn)成本·金手指表面不再擔(dān)心污染問(wèn)題,所有臟污可以方便地清洗去除。
·鍍膜金手指可以耐300℃以下高溫不會(huì)出現(xiàn)氧化變色問(wèn)題,從而可以實(shí)現(xiàn)***T工藝時(shí)免貼膠帶過(guò)爐。
鍍膜SOCKET在Socket表面形成一層納米鍍膜, 可有效改善同BGA等半導(dǎo)體器件的接觸性能, 降低磨損,延長(zhǎng)接觸壽命。
將納米液滲透在無(wú)塵紙上, 用于含有銀金屬材料產(chǎn)品之包裝、運(yùn)輸及儲(chǔ)存,是一種既經(jīng)濟(jì),又環(huán)保的長(zhǎng)期防止硫化的理想包裝材料。
真空鍍膜有幾種方式?
1、真空蒸發(fā)鍍膜
在真空室中加熱蒸發(fā)容器中的原材料,派瑞林涂層材料,使其原子或分子從表面氣化逸出,形成蒸氣流,派瑞林涂層公司,入射到待鍍產(chǎn)品表面,凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法。
2、離子鍍膜
蒸發(fā)源的加熱和蒸發(fā)鍍膜相同。由于系統(tǒng)為等離子狀態(tài),使金屬離子在產(chǎn)品表面吸附成膜,金屬離子具有高能量,鍍膜時(shí)離子結(jié)晶性佳、膜層的密著性高等。
3、磁控濺射鍍膜
給靶材施加高電壓(形成等離子狀態(tài)),使正荷電氣體離子撞擊靶材、金屬原子飛彈,而在產(chǎn)品表面形成金屬膜層的方法。
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