真空鍍膜加工MEMS真空鍍膜加工平臺(tái)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。
真空鍍膜是一種將待鍍材料和被鍍基材放置于真空室內(nèi)，采用一定方法加熱待鍍材料，海南真空鍍膜加工，使之蒸發(fā)或升華并飛濺到被鍍基材表面凝聚成膜的表面處理工藝，氮化鋁真空鍍膜加工，如圖所示。
真空鍍膜工藝可使塑料表面具有金屬質(zhì)感，并賦予一定的導(dǎo)電性能，其基材選擇廣泛，壓點(diǎn)材料真空鍍膜加工，過(guò)程環(huán)保***，顏色相較電鍍更加豐富。此工藝可分為三種類型：蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。
真空鍍膜原理圖
在內(nèi)外飾系統(tǒng)中，榮威標(biāo)牌嵌件是采用真空鍍膜的典型零件。通過(guò)標(biāo)牌嵌件背面鍍的銀色鋁膜與淡***PMMA基材共同形成了的金色獅子華表圖案。榮威標(biāo)牌嵌件采用的是真空鍍膜工藝中的濺射鍍膜。真空鍍膜典型零件及鍍膜機(jī)實(shí)物圖如圖所示。
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真空鍍膜加工MEMS真空鍍膜加工平臺(tái)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。
磁控濺射技術(shù)一般可以分為兩種，接下來(lái)我們一一的看一看。直流濺射法是其中之一，它能夠做到濺射導(dǎo)體材料，但是對(duì)于一些非導(dǎo)體或者絕緣材料，會(huì)使得表面的電荷無(wú)法達(dá)到中和狀態(tài)，甚至不能電離，也就無(wú)法做到連續(xù)放點(diǎn)電甚至無(wú)法放電，所以對(duì)于一些絕緣靶材或者一些導(dǎo)電性很差的非金屬靶材，就必須使用射頻濺射法。這是二者之間一個(gè)簡(jiǎn)單的區(qū)別。
濺射鍍膜技術(shù)在真空狀態(tài)下工作的時(shí)候，荷能粒子轟擊靶表面，導(dǎo)致被轟擊的粒子在基片上發(fā)生沉積。由于被濺射原子是飛濺出來(lái)的，而且是在與具有數(shù)十電子伏特能量的正離子，所以這種原子的能量要比一般的高，而且對(duì)提高沉積時(shí)的原子的擴(kuò)散能力有很大促進(jìn)作用，能夠提高沉積***的致密程度，也使得制出的薄膜有很強(qiáng)的附著力，能夠很好地附著在基片之上。
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而當(dāng)工作氣壓過(guò)大時(shí)，沉積速率會(huì)減小，原因有如下兩點(diǎn):
(1)由于氣體分子平均自由程減小，濺射原子的背反射和受氣體分子散射的幾率增大，而且這一影響已經(jīng)超過(guò)了放電增強(qiáng)的影響。濺射原子經(jīng)多次碰撞后會(huì)有部分逃離沉積區(qū)域，基片對(duì)濺射原子的收集效率就會(huì)減小，從而導(dǎo)致了沉積速率的降低。
(2) 隨著Ar氣分子的增多，濺射原子與Ar氣分子的碰撞次數(shù)大量增加，這導(dǎo)致濺射原子能量在碰撞過(guò)程中大大損失，致使粒子到達(dá)基片的數(shù)量減少，沉積速率下降。
3.6結(jié)論
通過(guò)試驗(yàn)，及對(duì)結(jié)果的分析可以得出如下結(jié)論:在其他參數(shù)不變的條件下，隨著工作氣壓的增大，沉積增大后減小。在某一個(gè)工作氣壓下，有一個(gè)對(duì)應(yīng)的大沉積率。
雖然以上工作氣壓與沉積率的關(guān)系規(guī)律只是在純銅靶材和陶瓷基片上得到的，但對(duì)其他不
同靶材與基片的鍍膜工藝研究也具有一定的參考價(jià)值。
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氮化鋁真空鍍膜加工-海南真空鍍膜加工-半導(dǎo)體研究所由廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所提供。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東 廣州 ,電子、電工產(chǎn)品加工的見證者，多年來(lái)，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針，滿足客戶需求。在半導(dǎo)體研究所***攜全體員工熱情歡迎各界人士垂詢洽談，共創(chuàng)半導(dǎo)體研究所更加美好的未來(lái)。