磁控濺射真空鍍膜MEMS真空鍍膜加工平臺——廣東省科學院半導體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導體產業(yè)發(fā)展的應用技術研究，兼顧重大技術應用的基礎研究，立足于廣東省經濟社會發(fā)展的實際需要，從事電子信息、半導體領域應用基礎性、關鍵共性技術研究，以及行業(yè)應用技術開發(fā)。

磁控濺射真空鍍膜的具體方法是在真空條件下電離惰性氣體， 氣體離子在電場的作用下 ， 轟擊金屬靶材使金屬原子沉積到玻璃表面上。它是七十年代末期發(fā)展起來的一種***的工藝方法，膜層由多層金屬或金屬氧化層組成， 允許任意調節(jié)能量通過率、能量反射率， 具有良好的外觀美學效果， 它克服了其它生產方法存在的一些缺點， 因而目前國際上廣泛采用這一方法。磁控濺射是一種新型的高速、低溫濺射鍍膜方法， 它是在專門的真空設備中， 借助于高壓直線濺射裝置進行的。磁控濺射鍍膜工藝的原理是: 將玻璃送入設有磁控陰極和濺射氣體的真空室內，陰極加負電壓，青海磁控濺射真空鍍膜，在真空室內輝光放電，產生等離子體。由于金屬靶材帶負電，等離子中帶正電的氣體離子被加速，并以相當于靶極位降U的能量沖擊靶面，磁控濺射真空鍍膜工藝，將金屬靶的原子轟出來，使之沉淀在玻璃表面形成金屬膜。

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真空鍍膜機真空泵的使用過程中出現(xiàn)的問題，整理了維修師傅的多年經驗，來跟大家分享一點真空泵的日常***和維修辦法。

一、可以先檢查旋片真空機組管路以及結合處，觀察其是否存在松動的情況。還可以用手轉動真空泵來測試真空泵是否還靈活。

第二、可以向軸承體內加入軸承潤滑機油，這也是一個比較簡單的***方式。要保證油位在油標的中心線處，潤滑油也要及時更換和補充。

第三、在真空泵出現(xiàn)的問題的時候，也可以點動電機，看看電機轉向是否正確，這也是一種簡單有效的檢修方式。如果開動電機，真空泵已經可以正常運轉，先打開出口壓力表，觀察并等其顯示出適當?shù)膲毫σ院?，再逐漸打開閘閥，并同時檢查電機的負荷情況。

第四、在使用機器的時候，為了保證真空泵在合理的效率點運轉，要盡量控制真空泵的流量和揚程，磁控濺射真空鍍膜技術，不要超過標注的范圍，這樣才可以產生盡可能多的節(jié)能效果。

第五、真空泵在運行的時候，要注意控制軸承溫度，磁控濺射真空鍍膜服務價格，盡量把軸承溫度控制在35攝氏度以內。如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲響，要及時檢查原因。并定期檢查軸承的磨損情況，如果已經磨損較大，一定要及時更換。

第六、使用真空鍍膜機真空泵的個月內，經過一百小時以后就要更換潤滑油，以后在五百小時換一次油就可以了。

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PVD真空鍍膜機和CVD鍍膜機區(qū)別

薄膜沉積技術根據(jù)成膜機理的不同，主要分為物理、化學、外延三大工藝。物***相沉積鍍膜設備，簡稱PVD真空鍍膜機。化學氣相沉積鍍膜機，簡稱為CVD鍍膜機。

     薄膜沉積技術是半導體、光伏等行業(yè)發(fā)展的關鍵工藝。薄膜沉積技術是指將在真空下用各種方法獲得的氣相原子或分子在基體材料表面沉積以獲得離層被膜的技術。它既適合于制備超硬、耐蝕、耐熱、化的機械薄膜，又適合于制備磁記錄，信息存儲、光敏、熱敏、超導、光電轉換等功能薄膜；此外，還可用于制備裝飾性鍍膜。近20年來，薄膜沉積技術得到了飛速發(fā)展，現(xiàn)已被廣泛應用于機械、電子、裝飾等領域。

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