工廠裝修潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室。空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室，宜設氣閘室?？諝獯盗苁业倪M、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施。單人空氣吹淋室，應按班人數(shù)30人設一臺。潔凈室人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門。不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa。工廠裝修潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa。
半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點
廢氣工程：由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，天津GMP車間設計價格，因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有***體。
空壓氣體工程：螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。
各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過凈化處理，天津GMP車間設計設計，簡稱“物凈”。物料凈化路線與人凈路線應分開，如果物料與人員只能在同一處進入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經(jīng)過粗凈化處理。對于生產(chǎn)流水線不強的場合在物料路線中間可設中間庫。如果生產(chǎn)流水線很強，天津GMP車間設計，則采用直通式物料路線，有時還需要在直通路線中間設多次凈化、傳遞設施。在系統(tǒng)設計上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對潔凈區(qū)應保持負壓或零壓，如果污染***性大則對入口方向也要保持負壓。
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