真空鍍膜服務(wù)MEMS真空鍍膜加工平臺(tái)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

提起膜，大多數(shù)人的反應(yīng)都是給手機(jī)屏幕貼的膜吧，其實(shí)，生活中的很多常用物品的表面都是有膜的，能夠起到很好的保護(hù)作用，比如鼠標(biāo)的外殼在制作完成之后，是需要進(jìn)行鍍膜的。這種膜不是像手機(jī)膜那種常規(guī)意義上的膜，而是一種建立在基板層面上的膜。所以這種膜是需要的儀器才能夠做到的。

這種設(shè)備叫作磁控濺射鍍膜機(jī)，之所以稱之為磁控濺射鍍膜機(jī)是因?yàn)橹饕獞?yīng)用的是磁控濺射技術(shù)。這是一種通過涉及氣態(tài)等離子體的沉淀技術(shù)，在鍍膜時(shí)，將需要鍍膜材料準(zhǔn)備好，將等離子氣體與需要鍍膜的材料處于同一空間之中，利用高能離子將材料表面進(jìn)行侵蝕，上海真空鍍膜服務(wù)，使得原子能夠沉積在基板的表面上并形成薄膜。這樣就完成了對(duì)于材料表面的“貼膜過程”。

這種磁控濺射鍍膜技術(shù)可以說好處頗多。磁控濺射鍍膜技術(shù)可以滿足基本上所有的材料，同時(shí)還不限制材料的熔化溫度，無論是金屬、塑料還是合金等等，都可以實(shí)現(xiàn)貼膜。而且在操作時(shí)是可以根據(jù)基材和涂層進(jìn)行調(diào)整的，并且可以安置于腔室內(nèi)的任何位置。即使是以沉積合金或者是化合物的薄膜，就可以基本保持原始材料的相似效果。

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真空鍍膜服務(wù)MEMS真空鍍膜加工平臺(tái)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，光電器件真空鍍膜服務(wù)，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

真空鍍膜機(jī)真空泵的使用過程中出現(xiàn)的問題，整理了維修師傅的多年經(jīng)驗(yàn)，來跟大家分享一點(diǎn)真空泵的日常***和維修辦法。

一、可以先檢查旋片真空機(jī)組管路以及結(jié)合處，觀察其是否存在松動(dòng)的情況。還可以用手轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵來測(cè)試真空泵是否還靈活。

第二、可以向軸承體內(nèi)加入軸承潤(rùn)滑機(jī)油，這也是一個(gè)比較簡(jiǎn)單的***方式。要保證油位在油標(biāo)的中心線處，潤(rùn)滑油也要及時(shí)更換和補(bǔ)充。

第三、在真空泵出現(xiàn)的問題的時(shí)候，也可以點(diǎn)動(dòng)電機(jī)，EB真空鍍膜服務(wù)，看看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確，這也是一種簡(jiǎn)單有效的檢修方式。如果開動(dòng)電機(jī)，真空泵已經(jīng)可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)，先打開出口壓力表，觀察并等其顯示出適當(dāng)?shù)膲毫σ院螅僦饾u打開閘閥，并同時(shí)檢查電機(jī)的負(fù)荷情況。

第四、在使用機(jī)器的時(shí)候，為了保證真空泵在合理的效率點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)，要盡量控制真空泵的流量和揚(yáng)程，不要超過標(biāo)注的范圍，這樣才可以產(chǎn)生盡可能多的節(jié)能效果。

第五、真空泵在運(yùn)行的時(shí)候，要注意控制軸承溫度，盡量把軸承溫度控制在35攝氏度以內(nèi)。如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲響，要及時(shí)檢查原因。并定期檢查軸承的磨損情況，如果已經(jīng)磨損較大，一定要及時(shí)更換。

第六、使用真空鍍膜機(jī)真空泵的個(gè)月內(nèi)，經(jīng)過一百小時(shí)以后就要更換潤(rùn)滑油，以后在五百小時(shí)換一次油就可以了。

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使用電子束來加熱蒸發(fā)形成蒸發(fā)膜的優(yōu)點(diǎn)有以下幾條：首先，鍍膜機(jī)中的電子束加熱的方法相較于傳統(tǒng)的電阻加熱方法而言，電子束加熱會(huì)產(chǎn)生更高的通量密度，對(duì)于那些高熔點(diǎn)的材料的蒸發(fā)可以說是有利條件，還可以使蒸發(fā)速率得到一定程度上的提高。其次，蒸發(fā)鍍膜機(jī)在工作的時(shí)候會(huì)將需要被蒸發(fā)的原材料放入到水冷銅坩堝內(nèi)，這樣就可以保證材料避免被污染，大幅度提高薄膜的純度，制造高純度的薄膜。后，電子束蒸發(fā)的粒子動(dòng)能較大，有利于薄膜的精密結(jié)合。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的系統(tǒng)組成一般大致相同系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。

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